因發(fā)表在物理學(xué)國(guó)際頂級(jí)期刊《Physical Review Letters》上的文章（）引起國(guó)際同行的持續(xù)高度關(guān)注，我校等離子體物理學(xué)科博士后趙凱應(yīng)國(guó)際氣體電子學(xué)會(huì)議（GEC）主席Julian Schulze的邀請(qǐng)，于7月16日在國(guó)際等離子體研討會(huì)上進(jìn)行了題為“Nonlinear standing wave excitation in very-high-frequency capacitive discharges”的線上學(xué)術(shù)報(bào)告（約35分鐘）。報(bào)告中，趙凱博士分別從1）單頻容性放電中的非線性駐波效應(yīng)，2）電非對(duì)稱效應(yīng)對(duì)非線性駐波激發(fā)的抑制作用，3）雙頻放電中低頻源對(duì)非線性駐波激發(fā)的影響三方面內(nèi)容進(jìn)行了系統(tǒng)展示。報(bào)告結(jié)束后，國(guó)際同行對(duì)該工作表現(xiàn)出濃厚的興趣，美國(guó)普林斯頓大學(xué)Igor Kaganovich教授，韓國(guó)釜山國(guó)立大學(xué)Hae June Lee教授，德國(guó)魯爾大學(xué)Ralf Perter Brinkman教授、Julian Schulze教授及Denis Erimin博士等分別就報(bào)告中的關(guān)鍵問(wèn)題與趙凱博士開(kāi)展了深入的討論與交流。
眾所周知，容性耦合等離子體（CCP）源被廣泛應(yīng)用于干法刻蝕和薄膜沉積等芯片制造工藝中。近年來(lái)，隨著晶圓尺寸和電源驅(qū)動(dòng)頻率的日趨增大，駐波效應(yīng)引起的等離子體不均勻性成為制約半導(dǎo)體工藝設(shè)備發(fā)展的重要因素，因此引起了工業(yè)界及科研界的廣泛關(guān)注。然而在前期研究中，由于實(shí)驗(yàn)診斷技術(shù)的極大挑戰(zhàn)，大多研究者主要關(guān)注基頻驅(qū)動(dòng)頻率對(duì)駐波效應(yīng)的貢獻(xiàn)，卻忽略了放電中激發(fā)的非線性效應(yīng)，尤其是等離子體串聯(lián)共振引起的非線性駐波效應(yīng)。為了對(duì)非線性駐波效應(yīng)開(kāi)展系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)研究，經(jīng)多年的技術(shù)積累，趙凱博士獨(dú)立自主研制了具有較高信噪比的磁探針診斷工具（），并授權(quán)中國(guó)專利一項(xiàng)（專利號(hào)：CN 109031166 B）、申請(qǐng)美國(guó)專利一項(xiàng)（申請(qǐng)?zhí)枺?6/516,484）。以此為基礎(chǔ)，針對(duì)非線性駐波效應(yīng)開(kāi)展了系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)研究。該系列研究不僅揭示了非線性駐波效應(yīng)的物理機(jī)制，而且對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)中等離子體均勻性優(yōu)化具有重要的實(shí)際指導(dǎo)意義。基于該先驅(qū)性研究，趙凱博士所在課題組收到低溫等離子體領(lǐng)域國(guó)際核心期刊Plasma Sources Sci. Technol.的約稿邀請(qǐng)。
國(guó)際網(wǎng)絡(luò)等離子體研討會(huì)（International Online Plasma Seminar，簡(jiǎn)稱IOPS）由德國(guó)波鴻魯爾大學(xué)（Ruhr-Universit?t Bochum, Germany）等離子體技術(shù)課題組發(fā)起，全程采用全球網(wǎng)絡(luò)直播的形式，任何學(xué)者均可免費(fèi)參與。今年以來(lái)，IOPS被同步刊登在美國(guó)等離子體科學(xué)工程密歇根研究所官方網(wǎng)站（），其影響力得到進(jìn)一步提升。IOPS主要聚焦于國(guó)際低溫等離子體科學(xué)的新動(dòng)態(tài)，每?jī)芍苓M(jìn)行一次。今年將共有22位國(guó)際學(xué)者進(jìn)行學(xué)術(shù)報(bào)告，上一期報(bào)告者為美國(guó)等離子體科學(xué)與工程密歇根研究所主任Mark J. Kushner教授。
