4月11日,由大連理工大學(xué)物理學(xué)院丁洪斌教授作為首席科學(xué)家負(fù)責(zé)的國家重點(diǎn)研發(fā)計劃“基礎(chǔ)科研條件與重大科學(xué)儀器設(shè)備研發(fā)”重點(diǎn)專項(xiàng)“超高分辨激光湯姆孫散射光譜儀”(2023YFF0714900)項(xiàng)目啟動暨實(shí)施方案論證會在長春順利召開。
啟動會開幕式由丁洪斌教授主持,吉林省科技廳一級調(diào)研員楊景鵬、長春奧普光電技術(shù)股份有限公司董事長高勁松、大連理工大學(xué)科研院重大項(xiàng)目辦副主任張長亮,分別代表項(xiàng)目推薦單位、項(xiàng)目負(fù)責(zé)單位和項(xiàng)目首席單位致辭。啟動會的實(shí)施方案論證環(huán)節(jié)由項(xiàng)目跟蹤(責(zé)任)專家劉淑芬研究員和雷震霖研究員主持。項(xiàng)目負(fù)責(zé)人丁洪斌教授進(jìn)行項(xiàng)目實(shí)施方案匯報,五個課題負(fù)責(zé)人分別對課題實(shí)施方案進(jìn)行了匯報。專家組審閱了相關(guān)材料,經(jīng)過論證、質(zhì)詢,專家組一致同意通過項(xiàng)目實(shí)施方案的論證,并就實(shí)施方案提出了意見與建議。
該項(xiàng)目總經(jīng)費(fèi)2200萬元,任務(wù)承擔(dān)單位包括:長春奧普光電技術(shù)股份有限公司(項(xiàng)目及課題四,負(fù)責(zé)單位),大連理工大學(xué)(課題一,課題三,負(fù)責(zé)單位)、中科院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所(課題二,負(fù)責(zé)單位)、中科院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所(課題五,負(fù)責(zé)單位)、中科院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所、清華大學(xué)、中科院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院、核工業(yè)西南物理研究院、西安交通大學(xué)、大連海事大學(xué)10家單位共同承擔(dān)。項(xiàng)目于2023年12月份正式立項(xiàng),我校物理學(xué)院丁洪斌教授為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人(首席科學(xué)家),李聰副教授為課題三負(fù)責(zé)人,海然副教授為子課題負(fù)責(zé)人。
背景:
“超高分辨激光湯姆孫散射光譜儀”項(xiàng)目主要研究目標(biāo)是針對光刻機(jī)極紫外光源開發(fā)、核聚變能、等離子體薄膜沉積、等離子體表面改性、等離子體生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的離子體精密測量診斷需求,突破高效率光源激勵、高分辨率光譜儀研制和高抑制比光譜探測等關(guān)鍵技術(shù),開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件國產(chǎn)化的超高分辨激光湯姆孫散射光譜儀,開發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫,開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣,為我國EUV光刻機(jī)光源的開發(fā)、核能研究、新材料制備等提供關(guān)鍵測量診斷支撐,推動各相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展。
國家“基礎(chǔ)科研條件與重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)”重點(diǎn)專項(xiàng)的總體目標(biāo)是加強(qiáng)我國基礎(chǔ)科研條件保障能力建設(shè);圍繞國家基礎(chǔ)研究與科技創(chuàng)新重大戰(zhàn)略需求,以關(guān)鍵核心部件國產(chǎn)化為突破口,重點(diǎn)支持高端科學(xué)儀器工程化研制與應(yīng)用開發(fā),研制可靠、耐用、好用、用戶愿意用的高端科學(xué)儀器,切實(shí)提升我國科學(xué)儀器自主創(chuàng)新能力和裝備水平,促進(jìn)產(chǎn)業(yè)升級發(fā)展,支撐創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略實(shí)施。